由于生产工艺的不同,对空调通风参数和洁净度等级的要求也不同,因此,电子厂设计人员首先应该了解各生产工艺的特点。下面华盛兴邦就谈下电子厂净化车间洁净度设计。
电子厂生产工艺分类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平面显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容,电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件生产(传感器、执行机构)等。
由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5μm;对温湿度控制的要求相对较高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2%±5%);正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值为5~10Pa。
由于我国电子行业与国际先进水平差距较大,随着经济发展不断加快,先进技术不断进入我国。因此,生产工艺技术的更新,可谓日新月异,洁净工程设计必须要适应这么快的变化节奏。
电子厂净化车间设计的冷负荷比其他行业的净化车间大很多,单位冷负荷达400~500W/m2很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。
电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风符合环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高。