影响净化车间内的空气品质的因素很多。如：净化车间内的新鲜空气量的大小；室内含氧量的多少；室内的负离子数量；室内装修安装等材料和生产过程产生的低浓度分子级的化学污染物的情况以及生产过程中散发的酸、碱、有机等废气都会影响净化车间内的空气品质。

一、净化车间内的新鲜空气量

《洁净厂房设计规范》50073-2001 中规定“保证供给净化车间内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。”

2 、净化车间空气的含氧量

大气中氧气的含量大约占 21%，氮气大约占 79%，其他气体的含量占总量的比例微忽其微。

3、净化车间空气中的其他化学成份

净化车间尤其电子工业用的净化车间由于室内装修材料以及生产用的原材料（各种气体、溶剂等）和生产过程排放的废气（含酸、含碱、含有机等化学污染物）等都会向净化车间空气中散发大量的化学物质，不仅影响净化车间内的空气品质，也会污染室外大气。

因此，在设计、建造和使用净化车间时要重视和处理好工艺设备的局部排风和废气的治理。不仅工艺设备本身要加强密封，而且，还要加强通风，提高排风效果，作好气流组织，使净化车间内的空气品质得以改善。