电子工业洁净室除有一般给排水要求外，还有纯水要求。我国电子级的纯水技术指标如下图所示。

图1

 从上面图可见，水质中对微生物的量也有很严的要求。

硅是以有机物和化合物的形式在硅片上留下痕迹的。金属的影响将降低产品寿命。

洁净度级别（ISO）在高于6级（不含）时，室内不应设地漏，6级室内必须设地漏时，应采用洁净专用地漏，7级及其以上洁净室不宜设排水沟，如必须设时，应在进入室外管网处设水封，此类等级洁净室也不允许排水立管在室内穿过电子工业洁净室纯水供应一般采用单管式循环系统，当对水质要求十分严格时，应采用双管式循环系统（例如单晶硅圆片的生产）纯水管材质可以在以下几种材质中选择:

低碳优质不锈钢管（304、304L、316、316L）、聚氯乙烯管、聚丙烯管、丙烯腈丁二烯苯乙烯管、聚偏二氟乙烯管

电子工业洁净室常大量使用氢气、氧气、氮气、氩气和氦气等，也使用一些特殊气体，如硅烷等有毒和有爆炸危险的气体。

设有氢气等可燃气体管道的场所，列人甲类火灾危险区。氢气、氧气管道的末端或最高点应设高于屋面最高处1m以上的放散管。日用量不超过1瓶时，气瓶可放在洁净室内。

特种气体存放量不得超过1d的用量。可燃和有毒的特种气体瓶应设在通风柜中，不间断通风。硅烷或硅烷混合物只能单瓶存放于气柜中。

气体管道中的气体露点低于60℃时，管道内壁应抛光。

电子工业洁净室的生产区、技术夹层、机房、站房等处均应设火灾探测器，在空调净化系统与新风混合前的回风管道中设置早期火灾探测器。

电子工厂洁净用房用电等级和供配电要求除考虑生产工艺外，应遵循国标《供配电系统设计规范》的规定，这里不再说明。