洁净室竣工验收时应对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转、规定转态下的洁净室性能检查和调整。竣工验收的具体内容及提交的文件如下：

1）图纸会审记录、技术核定单和竣工图。

2）主要工程材料、构配件、设备报审表，相应的出厂合格文件质量证明书，检验报告、产品合格证等。

3）空调制冷系统安装工程检验批质量验收记录表

4）管道隐蔽工程检查验收记录。

5）管道系统清洗（冲洗或吹扫）记录。

6）管道设备强度及严密性试验记录。

7）分部（子分部）工程观感检查记录。

8）设备单机试运转记录。

9）系统无生产负荷联合试运转与调试记录。

10）通风与空调分部工程质量控制资料核查记录。

11）通风与空调分部工程观感质量检查记录。

12）通风机安装工程检验批质量验收记录表。

13）通风与空调设备安装工程检验批质量验收记录表。

14）风管系统安装工程检验批质量验收记录表。

15）风管与配件制作工程检验批质量验收记录表。

16）风管系统安装工程检验批质量验收记录表（空调系统）

17）通风与空调分部工程安全和功能检验和抽样检测记录

18）风管与设备防腐绝热工程检验批质量验收记录表。

19）空调制冷系统安装工程检验批质量验收记录表。

20）空调水系统安装工程检验批质量验收记录表（设备）。

21）空调水系统安装工程检验批质量验收记录表（金属管道）。

22）风管系统安装工程检验批质量验收记录表（净化空调系统）

23）建筑电气分部工程观感质量检查记录。

24）电线、电缆穿管和线槽敷设工程检验批质量验收记录表。

25）开关、插座、风扇安装工程检验批质量验收记录表。

26）专用灯具安装工程检验批质量验收记录表。

27）风管漏风检测记录。

28）竣工报告。

洁净室综合性能验收应由建设单位组织，由施工单位配合，请有资格的检测单位（第三方）进行综合性能全面评定检测。该项工作应在洁净室各系统已调试完成，稳定运行24h以上，且洁净室竣工验收合格后方可进行。