在微电子用洁净室、药品、食品生产用洁净室中,常常在产品生产过程中使用或产生各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体;在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内,为此对于上述产品生产用洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序设置局部排风装置或全室排风装置,按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风装置(系统)大体划分为下列几种类型。

一、一般排风系统

这是指在生产辅助用室、生活用室,如值班室、卫生间等排出的一般废气,大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。

二、有机气体排风系统

在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时,都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体,对这类场所或设备均应设置排风装置。在一般情况下,有机排风系统中的有机气体浓度是很低的,若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气,不需设置废气处理装置;当排风系统中有机气体浓度超过规定时,应设有机体处理装置,经过处理达标后才能排入大气。有机排气的净化处理有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等,活性炭吸附法主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处理;液体吸收法,设备简单、耗能低,但吸收效率不高;催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处理。有机气体处理装置应根椐排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。

三、酸性气体排风系统

在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出,在这类酸性气体的排风系统通常设置湿式洗气吸收塔,处理后排入大气。

四、碱性气体排风系统

在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂,与酸性气体排风系统类似,通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。近年来,由于大气排放标准越来越严格,需对含有碱性物质(或酸性物质)浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准,为此可采用专用吸附剂对碱性排气(或酸性排气)进行处理达标后オ能排入大气.此种吸附剂一般为一次性的,使用后应进行集中处理,通常作为固体废弃物由城市垃圾处理场集中处理。

五、热气体排风系统

对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出,由于排气温度较高,有时可采用热回收等方式进行处理,若排气量较小或不便进行处理时,在采取必要的隔热措施后直接排入大气。

六、含粉尘的排风系统,鉴于产品品种不同、生产工艺过程不同,排气中的粉尘性质浓度均各不同,应根据其排气中的粉尘性质、浓度选用各类除尘装置,一般采用布袋除尘器、带过滤元件的过滤装置。

七、特殊气体排气系统

在半导体集成电路生产中常常需使用一些特殊气体,其中许多特殊气体均属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体,对于这类排气系统首先应按特气的品种、性质划分排气系统,必须防止在排气系统中产生化学反应;其次应选用专用的废气处理装置,特气排气的处理设备通常有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等;再有是排气系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特气性质选择相适应的材质,并不得与排放的特气发生反应。

八、药品生产中有害、有毒的排风系统

在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有毒药物的房间、二类危险度以上病原体操作区的排风口,应安装高效过滤器,使这些药物引起的污染危险降低至最低限度。并且此类排风系统的排入大气的排风口与其他药品生产用净化空调系统的新风进风了应相隔一定距离。