对于食品工厂设计来说，洁净室需要的纯水是必须有出去微粒的，这里所述的“微粒”是一个很广的范围，从小于1mm的无机砂到胶体、细菌等微粒。

一、凝聚过滤

对于自来水来说,水中的悬浮物也是微量的,主要是以胶体(以“浊度”表征)形式出现。胶体是一种带电的细小微粒,直接采用砂过滤效果不佳,目前通常采用微絮凝过滤技术效果较好。微絮凝过滤是在过滤前投加凝聚剂,使分散的胶体凝聚成较大的絮凝状的大团粒,再经砂过滤或多介质过滤(由聚苯乙烯塑料珠、无烟煤、碎燧石砂、石榴石和磁铁矿等多层滤料组成),可以达到非常理想的效果。特别是系统中有反渗透装置,为了达到其进水水质的要求(SDI<4)采用微絮凝过滤是非常有效的。

二、微孔过滤(MF)

微孔过滤也是一种膜分离技术,其过滤精度在10~0.1μm。它比UF、RO膜的孔径大得多,水流100%透过膜(UF、RO水流为切向,不是100%透过膜,有浓水产生)易堵塞不能清洗。但它过滤精度高(可达100%),被称为绝对过滤。在纯水系统的精处理的最后阶段用以保证最后出水的微粒含量。

微孔过滤膜可以由醋酸纤维素(CA)、聚四氟乙烯(PTFE)、尼龙、聚偏氟乙烯(PVDF)等材料制成。膜的维件一般为折叠筒状,标准组件为65mm×250mm。

三、超过滤(UF)

超过滤和RO一样是一种切向流的膜分离技术,它不像MF水流100%透过膜,而是水流与膜面平行,90%~95%的原水透过膜,其余成为浓水排出。由于水流与膜面平行被膜截留的微粒不断被冲走,最后被浓水带出。当膜被堵塞超过滤装置是可以清洗的,其方式是进行膜面的高速清洗,将膜面积存污物冲出。

超滤膜的过滤精度是以截留相对分子质量大小来表示的。用于超纯水系统的大多为5000~20000,膜材料大多为聚砜制成,膜组件的形式为中空纤维式。中空纤维膜外径为1~1.2mm,内径为0.7~0.8mm的纤维管。典型的膜组件为直径114×L1200的筒状结构，组件内的膜面积约7平米,产水量约1~2平米/h。

近来,开发了耐热材料制作的膜组件,打破了只能用药剂杀菌的局限,可以用温水或热水杀菌(膜组件耐热80℃甚至12℃),适用于医药工业的应用。

由于超过滤易于堵塞,因此在运行中需定时清洗。一般采用多个组件并联运行,定时循环清洗每个组件。

用于集成电路生产的纯水系统精处理的超过滤必须具备以下几个条件。

1、具有良好的去除微生物、微粒及胶体物质的性能。

2、不应降低电阻率。

3、灭菌及长期停用后电阻率恢复快。

4、使用过程中膜老化速度慢。

5、尽可能耐多种杀菌剂及清洗剂。

6、透水量大。

近来将超过滤用于纯水系统的预处理阶段代替经典的凝聚过滤也取得了进展。