在微电子工业中使用了两类气溶胶过滤器:纤维过滤器和膜片过滤器。

1.纤维过滤器

纤维过滤器是一个直径不同、长度不等、杂乱朝向的纤维集合体，纤维被填充、压实，或者结合成一种织物层（有时借助于纤维黏结剂），放在被过滤的空气要通过的一个固定的空间内。纤维过滤器的效率可以比较低，也可以用长网造纸机工艺制造高效纤维滤纸过滤器。在高效纤维滤纸过滤器中，所用的填料包括用于高效捕集亚微米粒子、直径为亚微米级的超细玻璃纤维，以及提高强度用的较大直径的纤维（大至5μm）。纤维过滤器的孔率为85％～99％。

2.膜片过滤器

膜片过滤器是匀质的固体薄片，用辐照、蚀刻、双轴延伸或溶剂挥发等各种方法对膜片进行穿洞或穿细孔而制成。溶剂挥发工艺是最通用的方法。将含有挥发性溶剂的适当塑料溶液浇注到一些薄片上，然后做固化处理，在固化中，各种组分以不同的速率挥发，最后留下一张多孔而连续的膜片。这种溶剂浇注膜片过滤器的典型孔率为70％～85％。

膜片过滤器的材质为各类纤维素酯，厚度在数十微米左右，表面带有静电，均匀地分布着孔径为0.1～10μm的圆孔，开孔率高达70％～85％，平均每平方厘米有107～108个小孔。比孔径大的微粒，100％被截留于滤膜表面。微电子工业中多用于光谱纯的用水用气点。

特别要提到的一种膜片过滤器是通过聚四氟乙烯（PTFE）的双向拉伸制成的。该过滤器的主要优点是其化学稳定性，在结构上也呈现出更好的膜片过滤器与纤维过滤器之间的相似性。在双向拉伸作用下，PTFE膜片既保持了单一的固态的完整性，又被撕裂为一张精细的亚微米的微丝网络，这更像纤维过滤器的结构而不像膜片过滤器的结构。PTFE滤纸与传统的高效玻璃纤维滤纸相比直径更小，结构更加均匀。用PTFE制作的空气过滤器其效率等级为H13时，初阻力在50Pa左右。