下面华盛兴邦谈下净化车间的隔离装置与微环境。降低造价及运行费用是净化车间设计所追求的目标,当加强污染控制会带来产量、质量的提高时尤其如此。因此,各种称为“隔离装置”“屏障技术”“微环境”的设施如雨后春笋般涌现出来。“微环境”是半导体工业中常用的术语,“隔离装置”“屏障技术”则在生物洁净如制药工业中经常用到。
各种净化级别的净化车间实际上就是一种隔离装置,使加工工艺及其加工的产品远离污染,提高产品的优良率。可以说,洁净技术就是隔离技术。在洁净技术的发展中曾依次使用过四种半导体工业中的洁净室模式它们是:全室型、混合型、洁净隧道型和洁净管道型,如图1所示。
图1
从上面提到的四种洁净方式或四代洁净室的发展方式可以看出,洁净技术的发展方向就是在努力提高洁净度等级的同时,尽可能地减少超洁净区域的容积,降低洁净厂房的造价和运行费用,达到最小化生产成本的目的。微环境和SMIF/微环境就是在这样的理念下发展起来的。