对于净化车间来说，防止仪器设备被污染是重要的管理内容，当设备被污染后，这些被污染的设备会让产品也被污染，所以我们必须防止净化车间内的设备被污染，下面华盛兴邦就谈下净化车间中的设备怎么防止污染。

一、生产工艺设备的防污染管理

在净化车间内产品的生产过程中，生产设备的尘粒污染是不可忽视的。据资料介绍，在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30％左右，可见其影响之大。污染的类型除了影响制作微细图形的微尘污染外，还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属的分子或分子级污染。所谓生产设备的污染，虽然有的是生产工艺固有的污染，但是还有源于设备制作材料、生产过程中的原辅材料（包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等）、工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染，还有在产品生产过程中由于操作失误造成的不应有污染。各种净化车间内产品生产的实践表明，加强净化车间内产品生产过程中生产工艺和设备的管理，的确是降低室内污染程度，提高产品质量的重要措施。要十分认真细致地观察净化车间内的生产设备在运转过程中可能发尘的情况，特别是运输装置、运动部件、机械手等可能的污染源，还有各类泵、风机等的电动机内部轴承之间的摩擦，并针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策。

二、生产工艺设备和工器具的防污染管理措施

以大规模集成电路生产用净化车间为例:生产工艺设备和工器具的防污染管理措施中较彻底的方法是实现生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用镊子进行硅片的装送，以杜绝设备、工器具和人身带来的污染。同时，随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产要求，所以全面实现自动化操作已不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，而且与改善企业的经济利益密切相关了。

又例如某硅片自动化输送系统，由一种或数种生产工艺设备组成微环境加工区，将这些加工区按产品生产工艺要求进行组合形成产品生产流水线，在两个加工的交接点上设置储料器，用它来缓冲由于生产工艺设备生产速度不同、单片处理和分批处理的不同以及其他原因造成的物流不平衡。设置储料器后，加工区之间的输送就成为储料器之间的输送，加工区内的输送则为储料器与生产工艺设备之间、生产工艺设备与生产工艺设备之间的传送。洁净厂房设计时，应根据建筑平面与空间、人员通行与操作、生产设备的移动与维护以及公用动力设施和管线等的实际情况进行综合协调，选择不同的方式、不同的布置。